Quá trình lắng đọng phún xạ làm bay hơi vật liệu nguồn, được gọi là bia, để tạo ra một lớp màng mỏng, hiệu năng cao phủ lên các sản phẩm như chất bán dẫn, thủy tinh và màn hình. Thành phần của bia quyết định trực tiếp các đặc tính của lớp phủ, do đó việc lựa chọn vật liệu là vô cùng quan trọng.
Nhiều loại kim loại khác nhau được sử dụng, mỗi loại được lựa chọn dựa trên những ưu điểm chức năng cụ thể:
Kim loại nền cho ngành điện tử và các lớp trung gian
Đồng có độ tinh khiết cao được đánh giá cao nhờ khả năng dẫn điện vượt trội. Độ tinh khiết của đồng đạt mục tiêu 99,9995%, rất cần thiết để tạo ra các đường dây dẫn siêu nhỏ (các kết nối) bên trong các vi mạch tiên tiến, nơi điện trở tối thiểu là yếu tố quan trọng để đạt tốc độ và hiệu quả cao.
Niken tinh khiết cao đóng vai trò là vật liệu đa năng. Nó chủ yếu được sử dụng như một lớp kết dính tuyệt vời và một lớp chắn khuếch tán đáng tin cậy, ngăn chặn sự trộn lẫn các vật liệu khác nhau và đảm bảo tính toàn vẹn cấu trúc cũng như tuổi thọ của các thiết bị nhiều lớp.
Các kim loại chịu nhiệt như vonfram (W) và molypden (Mo) được đánh giá cao nhờ khả năng chịu nhiệt và độ ổn định cao, thường được sử dụng làm rào cản khuếch tán chắc chắn và làm vật liệu tiếp xúc trong môi trường khắc nghiệt.
Kim loại chức năng chuyên dụng
Bạc tinh khiết cao có độ dẫn điện và dẫn nhiệt cao nhất so với bất kỳ kim loại nào khác. Điều này làm cho nó trở nên lý tưởng để phủ lên các điện cực trong suốt, có độ dẫn điện cao trong màn hình cảm ứng và các lớp phủ phản chiếu sáng bóng, có độ phát xạ thấp trên cửa sổ tiết kiệm năng lượng.
Các kim loại quý như vàng (Au) và bạch kim (Pt) được sử dụng cho các tiếp điểm điện có độ tin cậy cao, chống ăn mòn và trong các cảm biến chuyên dụng.
Các kim loại chuyển tiếp như Titan (Ti) và Tantalum (Ta) rất quan trọng nhờ đặc tính bám dính và chắn tuyệt vời, thường tạo thành lớp nền trên bề mặt trước khi các vật liệu khác được phủ lên.
Mặc dù bộ công cụ vật liệu đa dạng này cho phép tạo ra công nghệ hiện đại, nhưng hiệu suất của đồng về khả năng dẫn điện, niken về độ tin cậy và bạc về khả năng phản xạ vượt trội vẫn không có đối thủ trong các ứng dụng tương ứng của chúng. Chất lượng ổn định của các kim loại có độ tinh khiết cao này là nền tảng của các lớp phủ màng mỏng hiệu suất cao.
Thời gian đăng bài: 24/11/2025
